[实用新型]一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮有效
申请号: | 202022183250.7 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN213706435U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 李敏;傅伟力;李勇;冉东海 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | B65D61/00 | 分类号: | B65D61/00;B65D25/10;B65D25/04;B65D25/28 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 404040 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体加工技术领域,尤其涉及一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮,包括两块固定板,两块固定板之间安装有底板,底板上安装有若干分隔板,两块固定板上安装有手提架,两块固定板上穿设有第一滑杆,两块固定板上穿设有第二滑杆,两块固定板上均安装有锁紧组件,锁紧组件与第一滑杆连接,用来解决在砷化镓KOH腐蚀过程中,用镍丝缠绕的方式容易划伤晶片,使晶片上产生大量的划痕,影响腐蚀效果;并且每一张晶片都必须缠绕镍丝,需要消耗大量的时间和人力,工作效率极低;同时对镍丝的使用消耗较大,增加了工作成本的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 砷化镓位错 腐蚀 放置 | ||
【主权项】:
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