[实用新型]管路侦测装置有效
申请号: | 202022131610.9 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN213207302U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 曾圣翔;赖正训;黄志平;亓文丽 | 申请(专利权)人: | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
主分类号: | F17D5/06 | 分类号: | F17D5/06 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 刘曾 |
地址: | 250000 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供一种管路侦测装置,涉及半导体设备技术领域,该管路侦测装置包括发射半环、接收半环和与接收半环电连接的分析控制器,发射半环和接收半环围设形成一环状结构,发射半环上设置有多个声波发射器,接收半环上设置有多个声波接收器,多个声波发射器与多个声波接收器一一对应设置。通过发射半环和接收半环围设形成圆环结构,并环设在管道外,在使用时可沿管道移动,利用多个声波发射器向管道内发射声波,再利用多个声波接收器接收声波,通过分析控制器对接收到的声波进行分析,当管道中有异物时与管道中没有异物时的声波信号不同,可根据异常声波信号判定堵塞位置,从而实现了快速准确地确定堵塞位置,避免了人力物力的浪费。 | ||
搜索关键词: | 管路 侦测 装置 | ||
【主权项】:
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