[实用新型]一种用于承载掩膜板的载板有效
| 申请号： | 202021937649.3 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN213172536U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张敏;刘飞;卢刚;马昀锋;杜娟 | 申请（专利权）人： | 黄河水电光伏产业技术有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;贾珍珠 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于承载掩膜板的载板，包括板体，所述板体正面凹设有若干排容置腔组，每一排容置腔组均包括多个间隔设置的用于承载掩膜板的容置腔，每一所述容置腔均包括一凹槽及设于所述凹槽内并沿所述凹槽四周设置的棱台，所述棱台上表面不高出所述板体正面，所述棱台上凸设有用于与所述掩膜板上的连接孔配合的连接柱。本实用新型的用于承载掩膜板的载板可一次承载多个掩膜板，棱台上的连接柱与掩膜板的连接孔连接，使得掩膜板100可快速且精准的被放置于容置腔内，提高了沉积速度，利于工业批量化生产，提高效率，节省成本。且弹性块可在沉积完成后将容置腔内的掩膜板弹出，以便于取出掩膜板，进一步提高制作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 承载 掩膜板 | ||
【主权项】：
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