[实用新型]一种台车快速降温设备有效
申请号: | 202021897068.1 | 申请日: | 2020-09-03 |
公开(公告)号: | CN213570722U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 吴煜明 | 申请(专利权)人: | 柏霆(苏州)光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/34;B01D46/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域,尤其涉及一种台车快速降温设备,包括溅镀线体、升降机、冷却隧道、和冷却组件,所述溅镀线体包括缓冲腔体、转接腔体和镀区腔体;所述冷却隧道设置在溅镀线体的下方;所述升降机设置在溅镀线体的两个端头处,所述升降机对应的升起与落下高度,与缓冲腔体和冷却隧道的高度匹配;所述冷却组件通过风机连接管路接入冷却隧道中,所述溅镀线体和冷却隧道中均设置有用于运输产品台车的传送机构;采用本实用新型,隧道式罩体封闭,保证冷却过程的防尘防污的同时,可以增加风冷过程的风速,提高风冷效率,隐藏式设置在溅镀线体下方,也能减小线体的占地面积,解决生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 台车 快速 降温 设备 | ||
【主权项】:
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