[实用新型]一种在研磨液配制过程中的辅助装置有效
| 申请号： | 202021808113.1 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN213314762U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 高威 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/00 | 分类号： | B01F15/00 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种在研磨液配制过程中的辅助装置，所属半导体研磨加工防护技术领域，包括机架，所述的机架上端设有与机架相螺栓固定的辅助送料组件，所述的机架侧下方设有与辅助送料组件相连通的配料桶。所述的辅助送料组件包括辅助框架，所述的辅助框架前端设有加料槽，所述的加料槽下部设有与配料桶连通的落料槽，所述的辅助框架上端设有导轨，所述的导轨上设有与导轨相活动式插嵌连接的横移气缸，所述的横移气缸下端设有一对夹紧块，所述的夹紧块与横移气缸间设有夹紧气缸。具有结构简单、省时省力、运行稳定性好和使用效果好的特点。解决了被异物影响的问题。有效减少人员受伤的风险和地面颗粒状异物并带入配液桶的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 配制 过程 中的 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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