[实用新型]一种混光组件、照明装置和光学检测设备有效
| 申请号： | 202021651988.5 | 申请日： | 2020-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN213689418U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘健鹏;张鹏斌;陈鲁 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;F21S10/02;F21V9/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚璐华 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种混光组件、照明装置和光学检测设备，包括：第一光传输模组，所述第一光传输模组包括多个第一光传输器件；混光模组，所述混光模组与所述多个第一光传输器件连接；第二光传输模组，所述第二光传输模组与所述混光模组连接。由于不同的第一光传输器件可与不同颜色的单色光源连接，将不同颜色的单色光传输至混光模组，且混光模组可对不同颜色的单色光进行混光，因此，可以根据需要混合出所需颜色的光。也就是说，可以根据晶圆背面残胶的颜色混合出相同或相近颜色的光，并采用相同或相近颜色的光对晶圆背面进行照明，以提高晶圆背面缺陷检测的信噪比，降低残胶对缺陷检测结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 照明 装置 光学 检测 设备 | ||
【主权项】：
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