[实用新型]一种磁控靶材冷却水水排有效
| 申请号： | 202021540848.0 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN212864952U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 温泉;池永奎;肖平;张云 | 申请（专利权）人： | 浙江日久新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州中利知识产权代理事务所(普通合伙) 33301 | 代理人： | 赖学能 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市海盐*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控靶材冷却水水排，包括支撑架、水排主管、水排支路管、总进水孔、总进水管、排水管和抗震支撑底座，所述支撑架上设有水排主管，所述水排主管的底部设有若干水排支路管，所述水排支路管的顶端位于水排主管内部且水排支路管的顶端高于水排主管的底部，所述水排主管的后侧设有总进水孔，所述总进水孔上设有总进水管，所述水排主管的顶部设有排水管，所述支撑架的底部设有抗震支撑底座，与现有技术相比，本实用新型结构简单，设计合理，能有效避免冷却水中的杂质通过水排支路管进入到设备内部，造成水管堵塞，从而降低了维护频率，增加了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控靶材 冷却水 | ||
【主权项】：
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