[实用新型]一种镀膜机匀气系统保护装置有效
| 申请号： | 202021479129.2 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN213013068U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 方铨祥 | 申请（专利权）人： | 柏霆（苏州）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种镀膜机匀气系统保护装置，包括：阴极防护罩，溅镀靶材、进气管、绝缘接管、绝缘衬套和匀气钢管；所述进气管包括一个主气管和两个分气管，所述两个分气管通过三通接头连通，所述三通接头的另一个端口连接绝缘接管，所述绝缘接管通过直通接头连接主气管；所述两个分气管的另外一段通过L型接头与匀气钢管连接；采用本实用新型，绝缘接管配合绝缘衬套，可以保护匀气钢管避免因为溅镀镀膜工艺中因为电位差而被电浆离子攻击；设置有阴极防护罩，可以进一步在溅镀过程保护监督阴极，也进一步保护匀气钢管；整体结构简单，在不增加额外成本下，实现生产效率的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 机匀气 系统 保护装置 | ||
【主权项】：
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