[实用新型]用于控制扩散泵返油的装置有效
申请号: | 202021276041.0 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN213271041U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 乔建栋;黄坚;常洪兴;徐胜 | 申请(专利权)人: | 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司 |
主分类号: | F16K1/22 | 分类号: | F16K1/22;F16K1/226;F16K31/12;F16K31/53;F04F9/08 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开的用于控制扩散泵返油的装置,包括驱动气缸,所述驱动气缸的一侧外表面活动安装有联轴器,所述联轴器的一端外表面固定连接第一蝶阀轴有,所述第一蝶阀轴远离联轴器的一端设置有蝶阀体,所述蝶阀体的内侧活动安装有第一齿轮和第二齿轮,所述第一齿轮位于第二齿轮的前方位置。本实用新型所述的用于控制扩散泵返油的装置,能够在不改变降低扩散泵抽速的前提下减少扩散泵返油,同时可以根据工艺性的需要调节蝶阀板的开口大小控制扩散泵的抽速的大小,并且通过蝶阀板下方的密封条的贴合,增加蝶阀体的密封效果,能够在装置进行安装使用时,对装置进行快速的安装支撑固定,并缓冲上下冲击力,为装置的安装使用带来了便利。 | ||
搜索关键词: | 用于 控制 扩散 泵返油 装置 | ||
【主权项】:
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