[实用新型]一种磷化铟晶体生长除杂装置有效

专利信息
申请号: 202021079534.5 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN213287900U 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 马争荣;王建玲 申请(专利权)人: 高密普特电子设备有限公司
主分类号: B08B3/06 分类号: B08B3/06;B08B13/00;C30B33/00;C30B29/40
代理公司: 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 代理人: 殷盛江
地址: 261500 山东省潍坊*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及磷化铟晶体生长技术领域,且公开了一种磷化铟晶体生长除杂装置,包括固定底板,所述固定底板的顶部固定连接有水箱,所述水箱的右侧固定连接有导管,所述导管的外部固定安装有控制阀,所述固定底板的顶部固定连接有位于水箱外侧的支撑板,所述支撑板的内侧固定连接有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述顶板的顶部固定安装有位于电动推杆左侧的控制台。该磷化铟晶体生长除杂装置,通过操作控制台启动电动推杆向下延伸推动层板,当传动杆位于水箱顶部开设的开口内侧时关闭电动推杆,此时隔网位于水箱的内部,然后启动驱动马达带动侧板旋转,从而对磷化铟晶体进行除杂。
搜索关键词: 一种 磷化 晶体生长 装置
【主权项】:
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