[实用新型]一种安装在刻蚀机槽体上的PH值测量装置有效
| 申请号： | 202021040568.3 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN212622468U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 苗杰;焦朋府;张超 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种PH值测量装置，一种安装在刻蚀机槽体上的PH值测量装置，刻蚀机槽体（2）的侧壁上有开口（5），开口（5）的外侧安装有栅栏网（4），在栅栏网（4）外侧安装有密封盖（9），密封盖（9）上安装有PH计（8），PH计（8）探头处于密封盖（9）与栅栏网（4）之间。本实用新型通过提供大开口（长度方向从刻蚀机槽体安装硅片的最高点到最低点）并且安装栅栏网，保证了栅栏网外密封盖内液体的稳定性和流动性，减小直接对PH计探头的冲击力，另外PH计沿高度方向布置有多个，通过平均值获得最接近实际值的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 安装 刻蚀 机槽体上 ph 测量 装置 | ||
【主权项】：
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