[实用新型]晶圆压紧机构有效
| 申请号： | 202020898517.8 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212553075U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 陈章水;沈艳东;袁俏芳;黄毅;何飞舍 | 申请（专利权）人： | 广东长信精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆压紧机构，包括压紧轴体、座体和连接于座体的第一驱动装置，座体固定连接在晶圆磨边机的机架上，压紧轴体与加工主轴同轴设置，且压紧轴体位于加工主轴的上方，压紧轴体转动连接于第一驱动装置，第一驱动装置驱动压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离加工主轴，以压紧或释放加工主轴上的晶圆，当压紧轴体将晶圆压紧于加工主轴，压紧轴体还可相对第一驱动装置转动，以便跟随主轴旋转，在加工主轴旋转后无需再重新压紧定位，减少了生产步骤，提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 压紧 机构 | ||
【主权项】：
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