[实用新型]陶瓷基板皮秒激光钻孔装置有效
申请号: | 202020771533.0 | 申请日: | 2020-05-11 |
公开(公告)号: | CN212823458U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 张轲;龚朋真 | 申请(专利权)人: | 苏州优快激光科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/402;B23K26/70;B23K26/08 |
代理公司: | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人: | 李佳俊;郭国中 |
地址: | 215335 江苏省苏州市昆山市昆山开发区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种陶瓷基板皮秒激光钻孔装置,包括:皮秒激光发生器(1)、振镜切割头(2)、主控制器(3)、视觉定位观察部件(5)、Z轴切割头升降滑台(8)、回旋平台(9)、工作平台(15)以及基板构件;所述激光发生器(1)与振镜切割头(2)采用光纤相连;所述主控制器(3)与激光发生器(1)、振镜切割头(2)、回旋平台(9)相连;所述Z轴切割头升降滑台(8)中心线所在平面与工作平台(15)中心线所在平面相互垂直。本实用新型采用皮秒激光切割边缘光滑,圆度好、锥度更小、碎裂几率低,边界热影响区几乎没有,边缘不发黄,对陶瓷基板几乎无损伤,良品率大大提高,特别适合5G当前的陶瓷基板的高精度应用。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 基板皮秒 激光 钻孔 装置 | ||
【主权项】:
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