[实用新型]一种膜成型机烘干装置有效
申请号: | 202020682895.2 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN212072622U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 汪良恩;王锡康;姜兰虎;乔建明;王桂芝 | 申请(专利权)人: | 山东芯源微电子有限公司 |
主分类号: | B29C37/00 | 分类号: | B29C37/00;F26B21/00;B08B15/04;B29L7/00 |
代理公司: | 济南瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人: | 王萍 |
地址: | 250200 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种膜成型机烘干装置,主要涉及半导体膜生产设备技术领域,包括成型机架,在所述成型机架顶部外设有鼓风机,所述鼓风机成型机架顶部内的吸风管,在所述吸风管上等距设有负压风头,在所述相邻的两个负压风头之间设有固定在吸风管下部的固定架所述固定架底部连接圆柱形套筒,所述圆柱形套筒一端设有风机、另一端设有导流板,在所述风机导流板之间设有电加热丝,既提高了烘干效率,又使水汽能够及时的排出,保证了烘干的质量提高,增加了烘干装置的空间利用度,使得膜烘干过程更加高效、节能和环保。 | ||
搜索关键词: | 一种 成型 烘干 装置 | ||
【主权项】:
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