[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 202020631597.0 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN212582034U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 吴树飞;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;赵国伟;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣;钟旭 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶炉,包括炉盖和主炉室,还具有若干用于监测所述主炉室石英坩埚中熔硅液面上设定区域内的温度监控装置,所述监控装置置于所述炉盖内侧且被置于所述主炉室导流筒的斜上方;所述监控装置均朝所述设定区域方向倾斜设置。本实用新型通过设置用于熔硅液面尤其是靠近中心位置处的温度,实现熔硅液面温度监控自动调整,以保证稳温拉制工序中固液界面温度的横定,为后续成功引晶奠定基础,监控区域设置合理,监控温度精准且易于控制,实现熔硅液面温度的自动调节,从而保证单晶晶体生长温度梯度的一致性,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
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