[实用新型]一种新型供胶系统有效
| 申请号： | 202020627994.0 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN212143228U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李凡月 | 申请（专利权）人： | 拾斛科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | B05C1/02 | 分类号： | B05C1/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211500 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构，控制器，计算机，其中微流道平板被配置有微流道网格和多个汇胶槽。通过微流道网格，同时在所有汇胶槽形成所需胶量的微型胶水液滴，所有微型胶水液滴同时与第一晶圆接触，并转移到第一晶圆表面，完成对整张晶圆的点胶，生产效率得到了极大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 系统 | ||
【主权项】：
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