[实用新型]扫描微镜有效
| 申请号： | 202020591279.6 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN211577560U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 李帆雅;沈文江 | 申请（专利权）人： | 苏州希景微机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描微镜，包括框架、反射镜以及连接在所述框架与反射镜之间的扭转梁，所述框架将所述反射镜包围于其中并与所述反射镜间隔设置；所述反射镜包括自其边缘朝径向凹陷形成的缺口部，所述扭转梁的第一端连接所述框架，所述扭转梁的第二端延伸至所述缺口部内并与所述反射镜连接，所述扭转梁的第二端的宽度大于所述扭转梁的第一端的宽度。本实用新型将扭转梁的根部设置在反射镜内部，削弱了扭转梁对于微镜内镜面填充率的影响，同等尺寸微镜内的镜面填充率得以提高，有效地增大了反射镜镜面的口径，同时也避免微镜出现不必要的跳动，降低了扭转梁对扫描镜的频率、偏转角度、机械稳定性等的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 | ||
【主权项】：
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