[实用新型]扫描微镜有效
申请号: | 202020591279.6 | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN211577560U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 李帆雅;沈文江 | 申请(专利权)人: | 苏州希景微机电科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G02B26/08 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扫描微镜,包括框架、反射镜以及连接在所述框架与反射镜之间的扭转梁,所述框架将所述反射镜包围于其中并与所述反射镜间隔设置;所述反射镜包括自其边缘朝径向凹陷形成的缺口部,所述扭转梁的第一端连接所述框架,所述扭转梁的第二端延伸至所述缺口部内并与所述反射镜连接,所述扭转梁的第二端的宽度大于所述扭转梁的第一端的宽度。本实用新型将扭转梁的根部设置在反射镜内部,削弱了扭转梁对于微镜内镜面填充率的影响,同等尺寸微镜内的镜面填充率得以提高,有效地增大了反射镜镜面的口径,同时也避免微镜出现不必要的跳动,降低了扭转梁对扫描镜的频率、偏转角度、机械稳定性等的影响。 | ||
搜索关键词: | 扫描 | ||
【主权项】:
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