[实用新型]一种用于双台面激光直写曝光机的延展吸盘有效
| 申请号： | 202020561523.4 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN211698588U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈波 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于双台面激光直写曝光机的延展吸盘，包括上板和设置在上板下方的下板。所述上板的底部开设有开口向下的空腔，空腔的顶部开设有若干真空吸附孔。所述下板包括水平板和设置在水平板端部下方的竖直板。所述水平板的顶部与空腔围成一真空吸附腔。所述下板上开设有与真空吸附腔相连通的气体通道一。本实用新型能够与现有的双台面曝光直写曝光机吸盘配合使用，满足大尺寸PCB板的生产要求，具有拆装简单、易于调试、适用范围广等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 台面 激光 曝光 延展 吸盘 | ||
【主权项】：
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