[实用新型]一种新型多功能真空吸盘有效
| 申请号： | 202020561485.2 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN211698587U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈波 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型多功能真空吸盘，包括盘体、设置在盘体内的气体通道以及设置在盘体顶部的若干个从内向外依次排列的吸附槽。所述气体通道的外端向外伸至盘体的外周处，且气体通道的外端开口处安装有气接头。所述吸附槽内设有与气体通道相连通的螺纹安装孔，所述螺纹安装孔中可拆卸安装有吸附开关。本实用新型能够解决现有技术中存在的不足，在同一光刻设备机台上，满足不同规格尺寸的硅片在同一盘体上的吸附要求，且合理布置吸盘的进气方式，使得吸盘便于安装和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 多功能 真空 吸盘 | ||
【主权项】：
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