[实用新型]一种光致发光的检测装置有效
| 申请号： | 202020546229.6 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN211825686U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 蔺旭利;黄良辉;杨至灏;贺克成 | 申请（专利权）人： | 佛山市瑞纳新材科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 梁永健;单蕴倩 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂城街道夏*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光致发光的检测装置，包括：密闭箱体、硅放置板、相机支架、检测相机和发光件；硅放置板安装于密闭箱体的底部，用于放置硅片和/或晶圆片；相机支架的一端固定于密闭箱体内，另一端连接检测相机；检测相机的镜头部分指向硅放置板；发光件设置于检测相机与硅放置板之间的位置；发光件包括：环状安装壳和灯件；环状安装壳为喇叭状的通壳，其下底面的口径大于上顶面的口径；检测相机的镜头位于上顶面的上方。环状安装壳的内环设有锥形端面；锥形端面设有若干个灯安装口；灯件安装于灯安装口，灯件为红外灯。检测装置能更准确、快速地捕捉到光子的分布，从而经过图像处理得到所需要的器件结构的状况，具有结构简单、成本低和检测精确的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光致发光 检测 装置 | ||
【主权项】：
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