[实用新型]一种石英玻璃晶圆精密加工装置有效
| 申请号： | 202020453915.9 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN212145960U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 万峰;张宝柱;马雄 | 申请（专利权）人： | 金湖万迪光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411 | 代理人： | 伍兵 |
| 地址： | 211600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃晶圆加工技术领域，且公开了一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架，所述机架上端安装有第一电机，所述机架上端关于第一电机对称固定连接有支撑板，两个所述支撑板上端共同固定连接有安装板，所述安装板上端安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆通过第一轴承与安装板转动连接，所述螺纹杆的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒，所述安装板底部关于螺纹杆对称固定连接有限位框。本实用新型便于观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 精密 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金湖万迪光电科技有限公司，未经金湖万迪光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020453915.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
