[实用新型]快速均匀的晶圆烘干装置有效
| 申请号： | 202020409419.3 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212370521U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 田英干 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶装电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314199 浙江省嘉兴市嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了快速均匀的晶圆烘干装置，包括固定烘干外箱，所述固定烘干外箱的内部设有移动烘干架，所述移动烘干架的一侧竖直内壁上固定安装有第一晶圆托板，所述移动烘干架的另一侧竖直内壁上固定安装有第二晶圆托板，所述移动烘干架靠近第一晶圆托板的一侧壁底部位置开设有第一进风口，所述移动烘干架靠近第二晶圆托板一侧壁顶部位置开设有第一出风口，所述固定烘干外箱的一侧外壁底部位置固定安装有热风机，所述固定烘干外箱的内表面开设有烘干腔，所述第一晶圆托板与第二晶圆托板结构一致。本实用新型可以实现多组晶圆的快速均匀烘干处理，烘干效果好，不占用大量地面空间，烘干效率高，省时省力，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 均匀 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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