[实用新型]一种电加热密封结构有效
| 申请号： | 202020397216.7 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN211267131U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 郑锦 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/54 | 分类号： | H05B3/54;H05B3/04 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 刘梅 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于原子层沉积设备领域，具体是一种电加热密封结构，包括内部开设有内腔的接管，以及还包括贯穿在内腔内部的电加热丝；在所述接管一端连接有法兰Ⅰ，而法兰Ⅰ上通过固定件安装有法兰Ⅱ；其中，在法兰Ⅰ和法兰Ⅱ之间的所述电加热丝上套设有垫片Ⅰ和垫片Ⅱ；在远离所述法兰Ⅰ一侧的法兰Ⅱ上加装有螺母；在实际应用中，内腔是要保证电加热丝的真空度，接管一端焊接法兰Ⅰ上，法兰Ⅱ用固定件与法兰Ⅰ固定，中间用垫片Ⅰ密封，贯穿在内腔内部的电加热丝，和法兰Ⅱ中间用垫片Ⅱ密封，在下端用螺母拉紧，进而保证密封性；进而将电加热接头放在了腔体外面，脱离高温环境，解决了密封胶熔化导致电加热丝短路的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 密封 结构 | ||
【主权项】：
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