[实用新型]一种用于原位检测的四极杆质谱仪真空腔体有效
申请号: | 202020284073.9 | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN211238161U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 谭代强;林霞;江一煌 | 申请(专利权)人: | 厦门汉可真空仪器有限公司 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/24 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人: | 张素斌 |
地址: | 361100 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种用于原位检测的四极杆质谱仪真空腔体,涉及质谱仪领域,包括主腔体和四极杆,所述主腔体的一面设有四极杆接口,主腔体上相对四极杆接口的另一面向外凸出延伸设有电离腔室,电离腔室上设有进样接口,所述进样接口与四极杆接口同轴心设置,所述四极杆通过四极杆接口与主腔体连接,且四极杆电离室伸入主腔体的电离腔室内。样品从进样接口出来第一时间被离子化,保证样品的原位检测性,同时样品分子在被电离之前没有扩散并由分子泵抽走,保证样品尽可能多的被电离,提高仪器灵敏度。主腔体腔室体积小,样品分子容易被泵抽除,更容易达到质谱高真空需求,同时腔室表面积小,高沸点等样品吸附、残留少,不容易对质谱本底造成污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 原位 检测 四极杆 质谱仪 空腔 | ||
【主权项】:
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