[实用新型]一种旋转靶超声涂铟设备有效
| 申请号： | 202020277233.7 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN212051626U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 陈明恒 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K3/08 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转靶超声涂铟设备，超声涂铟设备包括有高温箱以及分别设置在高温箱相对两侧的超声发生装置。高温箱内设置有用于带动旋转靶绕其轴线自转的支承辊装置，支承辊装置包括有两个对称设置的支承辊以及转动驱动装置，转动驱动装置传动连接至少一支承辊；高温箱相对的两侧分别设置有一开口，两个超声发生装置分别活动设置有一超声涂杆，两个超声涂杆分别穿插于相应的开口，并且超声涂杆的端部活动延伸至旋转靶的内腔；两个超声涂杆分别与支承辊装置协同进行涂铟配合。本超声涂铟设备通过超声涂杆和支承辊带动旋转靶作转动涂铟，涂铟均匀，提高成品焊合率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 超声 设备 | ||
【主权项】：
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