[实用新型]一种基于扩散连接的微型高温氧传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于扩散连接的微型高温氧传感器，尤其涉及一种体积小于65mm3、工作温度650℃的微型氧浓度传感器，包括由氧化锆陶瓷基片、铂电极和氧化铝陶瓷片组合成氧泵和浓差电池，氧泵产生泵氧电流，改变密闭空腔内氧浓度，浓差电池根据空腔内和待测气体氧气浓度差输出电势。将被测氧气浓度信息转化为相应的电信号输出。通过对氧化铝陶瓷保护层内侧设计复合槽型台阶结构，采用真空扩散连接方式与氧化锆陶瓷基片高质量连接，降低传感器氧化铝保护层/氧化锆陶瓷结构的残余应力、消除缺陷，提高传感器使用寿命和测量精度。