[实用新型]一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台

摘要

本实用新型半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道，真空腔体外的冷源装置通过循环管道与所述冷源流通管道相接，并且载物台底面设置加热部件，真空腔体通过真空接头把光电信号引入真空腔体内的同时也能保证真空腔体的真空度；制冷剂直接通过载物台循环，能够实现快速降温，同时配合加热部件，通过加热与降温交替进行，快速达到半导体的测试温度，大大缩减测试时间，提升半导体器件的测试效率。