[实用新型]一种用于光线曝光中心的定位装置有效
申请号: | 202020107955.8 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN211180530U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 陈斌 | 申请(专利权)人: | 北京捷安特技术服务有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人: | 黄锦阳 |
地址: | 101400 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于光线曝光技术领域,尤其为一种用于光线曝光中心的定位装置,包括曝光头,所述曝光头下方设有导光连接座,所述导光连接座上设有光罩,所述导光连接座下方设有调节支座,所述导光连接座外侧壁固定连接有辅助侧框,所述辅助侧框内侧滑动连接有两个支撑侧杆,两个所述支撑侧杆呈对称分布,两个所述支撑侧杆底部均固定连接有定位板;当调节支座上的工件与光罩倾斜时,调节支座调节角度,可以使两个支撑侧杆在调节槽内滑动,连接杆的作用能够使两个支撑侧杆一起移动,使定位板的端面贴合在调节支座的端面上,从而可以校正调节支座的角度,使调节支座上的工件与光罩平行,能够提高调整角度的精准度和曝光作业的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光线 曝光 中心 定位 装置 | ||
【主权项】:
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