[发明专利]一种厚壁大长径比高纯铜管靶加工方法有效
| 申请号： | 202011633795.1 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112846660B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 曾浩;王宇;蒋媛媛;罗俊锋;万小勇;郭珊珊;王焕焕;揭华琳;康燕茹;李勇军 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于靶材制造技术领域的一种厚壁大长径比高纯铜管靶的加工方法，包括以下步骤：1)高纯铜铸锭制备2)高纯铜管材制备3)高纯铜管坯制备4)高纯铜管靶的加工；并经过后续清洗烘干和包装过程得到成品高纯铜管靶；本发明从根本上解决了传统制备工艺生产的铜管靶纯度低、氧含量高、加工流程长、生产成本高、难以实现批量化生产的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚壁大 长径 高纯 铜管 加工 方法 | ||
【主权项】：
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