[发明专利]一种激光直写光刻机长辊式压板机构有效
| 申请号： | 202011626210.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112764322B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 刘红现;项宗齐;陈东 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光直写光刻机长辊式压板机构，包括压板部，压板部包括支撑翼板以及设置于支撑翼板下方的胶辊组件；胶辊组件包括转轴以及套接于转轴上的胶辊，转轴两端均通过线性导向轴与支撑翼板上下滑动连接，线性导向轴下端与转轴固定连接，线性导向轴上端与支撑翼板滑动连接，转轴与支撑翼板之间设置压缩弹簧，压缩弹簧套接于线性导向轴上，本申请采用长辊式压板机构，无需动力，靠吸盘自身运动的力量顶起长辊，在曝光区域两侧压住PCB板，避免了边缘压板机构导致中间鼓起、曝光区域不平整的现象，同时长辊结构可靠，无悬臂梁式压板机构使用过程中悬臂梁形变风险，整个结构简单，容易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光刻 机长 压板 机构 | ||
【主权项】：
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