[发明专利]金刚石膜穿孔加工的方法和系统在审
| 申请号： | 202011621656.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114682929A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 魏潇赟;王俊友;杨勇;邓抄军;汪波 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 李芳 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金刚石膜穿孔加工的方法和系统，属于激光穿孔领域。所述方法包括：将待穿孔的金刚石膜固定于加工台的表面；使用喷液器，在所述金刚石膜的远离所述加工台的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜；使用激光器，在所述液膜的远离所述金刚石膜的表面，辐射激光束，得到具有通孔的金刚石膜。采用本申请，喷射的飞溅物漂浮在液膜的表面，并随着液膜的流动，脱离金刚石膜，能够减少甚至避免飞溅物对金刚石膜的表面的烧灼，进而提升金刚石膜的表面平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 穿孔 加工 方法 系统 | ||
【主权项】：
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