[发明专利]器件窗口检验方法、装置、设备和存储介质有效
| 申请号： | 202011616455.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112698185B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 樊强 | 申请（专利权）人： | 海光信息技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区天津华苑*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种器件窗口检验方法、装置、设备和存储介质，该方法包括：获取待测批次中每个晶圆上每个芯片的器件性能信息，其中所述芯片内设置有性能监控测试单元，所述器件性能信息由所述性能监控测试单元测试得到；根据每个所述芯片的所述器件性能信息，对所述晶圆中的芯片进行分类；对分类后的芯片组做器件窗口检验，生成所述芯片产品的最终器件窗口。本申请可以快速挑选合适的产品器件窗口检验所需的芯片(die)样本，更准确地检验新的器件窗口，快速修正器件目标值。同时适用于“新产品导入(tape‑out)试生产(engineer lot phase)”和“量产(mass production)产品器件目标值转移(device target shift)”事宜。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 窗口 检验 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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