[发明专利]一种用于液晶设备的正型光刻胶组合物在审
申请号: | 202011593335.0 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112506004A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 周丰 | 申请(专利权)人: | 安徽邦铭新材料科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039 |
代理公司: | 北京君华知识产权代理有限公司 11515 | 代理人: | 朱庆华 |
地址: | 246000 安徽省安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于液晶设备的正型光刻胶组合物,以线性酚醛树脂为成膜树脂,以含重氮基团重氮萘醌的二叠氮化物为感光剂,并加入光敏剂、染料添加剂、流动相改善剂和灵敏度增进剂混合而成。本法制得的正型光刻胶组合物与传统光刻胶组合物相比具有优异的感光性、保留值比、分辨率、对比度和粘合力。本法的制得的正型光刻胶组合物收率高,且具有良好的耐热性和稳定性。本法通过添加流动性改善剂、灵敏度增进剂和光敏剂等,防止了强真空干燥引起的图案变形,提高了图案的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 液晶 设备 光刻 组合 | ||
【主权项】:
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