[发明专利]一种CIGS共蒸法的硒源外置式结构在审
| 申请号： | 202011592347.1 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112626465A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 朱路路;罗明新;徐彩军;任宇航 | 申请（专利权）人： | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/06;C23C14/54;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人： | 张华 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种CIGS共蒸法的硒源外置式结构，解决CIGS共蒸法的各元素蒸发源蒸发温度高低差异大，铜源、铟镓合金源的高温辐射对硒源相邻侧的温度产生影响，会导致硒源蒸发不稳定，影响产品质量的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设有待镀膜的基底，其特征在于：所述基底下方设置有硒源、铜源、铟源、镓源，所述硒源为设置在真空腔下方外侧的外置硒源，真空腔下壁通过硒蒸气导向管连接外置硒源，所述硒蒸气导向管沿输送方向设置若干加热电极，硒蒸气导向管的外侧包绕隔热层。本发明外置硒源不会受到铜源、铟源、镓源的辐射热影响，可以精准控温，蒸汽羽流稳定，同时，外置硒源方便硒源的添加和用量控制，也方便未用完的硒源回收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cigs 共蒸法 外置 结构 | ||
【主权项】：
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