[发明专利]一种线性抛光机在审
| 申请号： | 202011592264.2 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114683164A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 吴孟谕 | 申请（专利权）人： | 广州集成电路技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种线性抛光机，包括用于固定待抛光件(100)的抛光盘(200)、位于抛光盘(200)上方的动力机构以及与动力机构传动连接的研磨垫(330)；动力机构用于驱动研磨垫(330)，以使研磨垫(330)直接接触并研磨待抛光件(100)。本发明的线性抛光机设计新颖，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 抛光机 | ||
【主权项】：
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