[发明专利]一种微纳制造领域用连续生产型纳米压印装置在审
| 申请号： | 202011579807.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112666792A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 徐艳敏;王恩光 | 申请（专利权）人： | 徐艳敏 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 276800 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳制造领域用连续生产型纳米压印装置，包括转运机构，所述转运机构包括立柱、转台、正四面柱、抓取组件，所述立柱顶部中央转动连接有所述转台，所述转台顶部通过螺栓连接有所述正四面柱，所述正四面柱的四个竖直面上均设置有一个所述抓取组件，且所述正四面柱的四个竖直面外侧依次设置有上料机构、压印机构、固化箱、下料平台。本发明实现了取料、压印、紫外固化、下料连续生产的功能，提高了生产效率；压印前，压板带动弹簧下降，弹簧挤压支架二，支架二挤压安装块，安装块带动导向辊和挤压辊下降，导向辊带着软模板靠近衬底模板，当安装块抵在定位杆上时，软模板平稳的覆盖在衬底模板顶部，可以保证纳米结构的精确复制，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 领域 连续生产 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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