[发明专利]一种266nm深紫外固体激光器在审
| 申请号： | 202011571371.7 | 申请日： | 2020-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN112688151A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 肖志松 | 申请（专利权）人： | 罗根激光科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/081 | 分类号： | H01S3/081;H01S3/082;H01S3/109 |
| 代理公司： | 重庆信航知识产权代理有限公司 50218 | 代理人： | 吴从吾 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种266nm深紫外固体激光器，包括用于提供激光晶体受激辐射的激光电源、用于对激光器进行散热的水冷却系统、1064nm谐振腔、腔内倍频光路和腔外四倍频光路，1064nm谐振腔包括第一平凸透镜、第二平凸透镜、平凸镜、激光晶体、声光调制器和第一反射镜；腔内倍频光路包括LBO二倍频晶体和532nm分光镜；腔外四倍频光路包括第二发射镜、CLBO四倍频晶体和布鲁斯特等腰棱镜；本发明一种266nm深紫外固体激光器通过谐振腔内分离倍频的532nm激光；利用色散原理分离四倍频后产生的266nm激光和剩余的532nm激光，并输出266nm激光至出光口；光学模式较好，光‑光转换效率达到80％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 266 nm 深紫 固体激光器 | ||
【主权项】：
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