[发明专利]一种半球谐振子的球面面形检测方法有效
| 申请号： | 202011570287.3 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN112729159B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 杨长城;刘军汉;车驰骋;张熙 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 刘璐 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半球谐振子的球面面形检测方法，沿激光干涉仪测试光束光轴方向依次设置半球谐振子和抛物面标准镜，使半球谐振子外球面球心与抛物面标准镜焦点重合，构建测试光路。通过激光干涉仪进行测试获得半球谐振子外球面的面形波像差。然后，调整半球谐振子，使半球谐振子内球面球心与抛物面标准镜焦点重合，通过激光干涉仪进行测试获得半球谐振子内球面的面形波像差。本发明针对半球谐振子内外表面的球面区域呈现环带的特点，采用非接触式激光干涉法，采用抛物面标准镜和球面标准镜，构建特殊的测试光路，实现对半球谐振子内外表面的整个球面环带的高精度测量，且测试效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半球 谐振子 球面 检测 方法 | ||
【主权项】：
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