[发明专利]一种熔石英光学元件表面Sol-gel减反射膜层清洗方法有效
| 申请号： | 202011568122.2 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112759280B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 宋辞;石峰;钟曜宇;田野;张坤;铁贵鹏;薛帅;林之凡 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;G01B11/06;G01B21/30;G01N21/31;G01N21/59;G01N21/65;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及强激光光学元件加工技术，公开了一种熔石英光学元件表面Sol‑gel减反射膜层清洗方法，实施步骤包括：测量待清洗样品表面Sol‑gel减反射膜的膜层厚度h；使用玻璃夹具对待清洗样品进行装夹；将待清洗元件连同玻璃夹具装入离子束机床工作腔内；将离子束机床工作腔抽真空，然后通入惰性气体；对待清洗样品进行一次惰性气体离子束干法清洗工艺去除待清洗样品表面膜层厚度h的Sol‑gel减反射膜层。本发明工艺流程简单、可操作性强、能保证清除熔石英表面Sol‑gel减反射膜层，并确保在清洗的过程中改善表面质量，不产生含放射性污染的含氚废液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 光学 元件 表面 sol gel 减反射膜 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科技大学，未经中国人民解放军国防科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011568122.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
