[发明专利]一种基于烷烃与硅烷反应的SiC-CVD制程尾气为反应循环气FTrPSA可调节方法在审
| 申请号： | 202011537652.0 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112657314A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 | 申请（专利权）人： | 浙江天采云集科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/047 | 分类号： | B01D53/047;C01B33/04;C01B3/50;C01B3/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于烷烃与硅烷反应的SiC‑CVD制程尾气为反应循环气FTrPSA可调节方法，通过预处理、中温变压吸附、浅冷变压吸附浓缩、吸附净化、中浅温冷凝及中浅冷精馏诸多工序，实现以基于烷烃（甲烷或丙烷）与硅烷反应的SiC‑CVD晶体或薄膜外延生长制程尾气作为SiC‑CVD反应的循环气使用，并且可通过对循环反应气中各组分浓度及流量的调节，使得SiC晶体或薄膜的沉积效率与质量大幅度提高，既实现尾气的综合利用，又减少了尾气排放，弥补了SiC‑CVD制程尾气处理技术的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 烷烃 硅烷 反应 sic cvd 尾气 循环 ftrpsa 调节 方法 | ||
【主权项】：
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