[发明专利]额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法有效
| 申请号： | 202011537040.1 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112260218B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;张志强;张鹏飞;郑从兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H02H3/08 | 分类号： | H02H3/08;H02H3/02;H02H3/00;G01B7/16 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 210000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法，过流保护器包括第一衬底；第二衬底；在第一衬底上形成开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的固定端；第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的中部位置；第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的悬空端。本发明利用MEMS体加工和键合工艺，设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极，使过流保护器的额定电流可调且可监测，以提高电路或系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 额定电流 可调 监测 保护 制备 方法 | ||
【主权项】：
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