[发明专利]声表面波谐振器及该声表面波谐振器的制造方法在审
| 申请号： | 202011508599.1 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112653417A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 许欣;宋晓辉;翁志坤 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 殷明;俞丹 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的声表面波谐振器，包括：衬底；压电层，该压电层形成在所述衬底上并且所述压电层的厚度为0.8μm到1.2μm；以及叉指电极，该叉指电极具有多个形成在所述压电层中的电极指，并且所述电极指的厚度为300nm到500nm，所述电极指的宽度和间距之比即占空比为0.4到0.6。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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