[发明专利]电浆检测器、电浆清洗系统及清洗器件的方法在审
| 申请号： | 202011501733.5 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN114643234A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 郑丰宗 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;G01J1/42;G01J1/02 |
| 代理公司： | 北京植德律师事务所 11780 | 代理人： | 唐华东 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了电浆检测器、电浆清洗系统及清洗器件的方法。通过设计包括壳体、光探测器和视窗组件的电浆检测器，并在电浆清洗机的真空腔体上设置视窗孔，以及将电浆检测器的透光视窗组件设置于视窗孔。进而可以通过透光视窗检测真空腔体内的光强进而确定真空腔体内的电浆光强度，继而实现对电浆清洗机真空腔体内电浆光强度进行检测，可大幅降低电浆检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 清洗 系统 器件 方法 | ||
【主权项】：
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