[发明专利]一种Ti/Sb多层纳米复合相变存储薄膜材料及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202011493415.9 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112614936B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 吴卫华;黄玉凤;徐胜卿;朱小芹 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H10N70/20 | 分类号： | H10N70/20;H10B63/10;C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 马晓敏 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种Ti/Sb多层纳米复合相变存储薄膜材料及其制备方法和应用，由Ti金属层和Sb金属层在基层材料上交替沉积复合而成，将Ti金属层和Sb金属层作为一个交替周期；膜结构表达通式为：[Ti |
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| 搜索关键词： | 一种 ti sb 多层 纳米 复合 相变 存储 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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