[发明专利]一种含HF/HCl蚀刻尾气FTrPSA分离与回收循环再利用方法有效
| 申请号： | 202011485842.2 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112707373B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 钟娅玲;汪兰海;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 | 申请（专利权）人： | 浙江天采云集科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/07 | 分类号： | C01B7/07;C01B7/19;C01B3/56 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含HF/HCl蚀刻尾气FTrPSA分离与回收循环再利用方法，涉及半导体制程中蚀刻尾气的有效组分回收与循环再利用环保领域，其主要步骤为，含有HF/HCl干法蚀刻尾气先后经过预处理、氯硅烷/HCl喷淋吸收、中温变压吸附、HF精馏、多级蒸发/压缩/冷凝、HCl精制、氯硅烷中浅冷精馏与尾气吸收工序，从中获得纯度大于等于99.99％的HF与HCl产品气，并返回干法蚀刻制程中循环使用，其中，中温变压吸附为二段PSA、HF精馏为上下两段、HCl精制为两塔精馏。本发明实现了从含HF/HCl干法蚀刻尾气中分离回收HF与HCl，并返回蚀刻制程中循环使用，大幅度降低了蚀刻气体原料成本与尾气环保处理成本，解决了现有技术仅是达标排放而无法实现尾气综合利用，填补了该技术领域的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hf hcl 蚀刻 尾气 ftrpsa 分离 回收 循环 再利用 方法 | ||
【主权项】：
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