[发明专利]一种光电压电静电复合驱动微镜微调节装置在审
| 申请号： | 202011472915.4 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112578553A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;宋立武;曹金龙;李春龙 | 申请（专利权）人： | 南通速图科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 226602 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光电压电静电复合驱动微镜微调节装置，包括粗动台，所述粗动台上对称设有Y向滑轨，所述Y向滑轨内设有第一滑杆，所述第一滑杆通过第一滑块与Y向微调平台滑动连接，所述Y向微调平台的下方并位于粗动台的表面上设有Y向调节机构，所述Y向调节机构的两端通过第一固定块固定连接在粗动台的表面上，所述Y向调节机构的下方并位于粗动台的表面上对称设有Y向光电陶瓷，通过利用光电陶瓷的光生电压效应，使光能转化为电能，通过利用调节机构中压电薄膜驱动器上压电薄膜的逆压电效应，使电能转化为机械能，可实现位移调节，机构简单紧凑，响应速度更快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 压电 静电 复合 驱动 微调 装置 | ||
【主权项】：
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