[发明专利]一种基于多材料3D打印技术的盘状微结构磁场传感器

摘要

本发明涉及一种基于多材料3D打印技术的盘状微结构磁场传感器，属于磁场传感器领域领域。本发明采用3D打印技术，根据盘状波导结构的几何形状，建立3D打印模型，打印完成后注入磁流体材料，并采用双光子飞秒激光直写技术对磁流体材料进行固化，制备得到盘状波导结构。在盘状波导结构横截面中的两个单曲面的交界面位置设有圆柱形波导，圆柱形波导与Y波导耦合；磁流体材料灌装到外侧单曲面对应的纳米材料区内，当该传感器周围磁场发生变化时，外侧单曲面矩形区域内的磁流体折射率发生改变，通过sagnac效应测得光谱变化量即可解算出磁场的变化量，具有易于操作、速度快、精度高、成功率高等优点，在磁场测量领域具有良好的应用前景。