[发明专利]管靶制造装置和管靶制造方法有效
| 申请号： | 202011463754.2 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114622171B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张佼;王玉杰;东青;孙宝德;姜海涛 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;昆山晶微新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F12/00;B22F10/22;B33Y10/00;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 钟扬飞 |
| 地址： | 200030 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种管靶制造装置和管靶制造方法，本申请的管靶制造装置包括：牵引模块、结晶模块和喷射模块，牵引模块包括芯轴、芯轴升降机构和成型平台；结晶模块包括固定结晶管和结晶管固定支架，固定结晶管套设于芯轴外；喷射模块包括坩埚和坩埚旋转机构，坩埚上设有至少一个喷嘴，坩埚为环状结构，套设于芯轴外；其中，喷嘴的喷射方向朝向成型平台，芯轴的外表面、固定结晶管的内表面以及成型平台形成用于成型的成型空间。本申请能够采用3D打印的方式令原材料从在旋转的坩埚喷射而出，在不旋转的成型平台上冷却凝固，改变了金属铸造模式和铸造设备，改善了制造的管靶质量，使得所制成的管靶成分均匀，晶粒细化，且消除了宏观偏析。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
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