[发明专利]一种带有变形补偿的变形镜单元及分立式变形镜系统有效
| 申请号： | 202011458344.9 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112612136B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 李蓉;吴占彬;翁佳豪;陆伟;杨树玄;张巨勇;季国顺;陈志平 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06;G02B7/18;G02B7/182;G01B7/16 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种带有变形补偿的变形镜单元及变形镜系统.本发明一种带有变形补偿的变形镜单元，包括单变形镜片、极头、驱动器和基座。多个驱动器均安装在基座。驱动器能够自动伸缩；各驱动器的外端均固定有极头；极头的外端端面上开设有多个盲孔。单变形镜片的背面与各个极头的外端固定。单变形镜片上设置有多个通孔。通孔的孔径为1～100nm。本发明通过在单变形镜片上开设纳米级通孔，由于通孔的直径小于变形镜的单元间隙，故通孔提高散热性能的同时对变形镜的性能几乎无影响。本发明通过设置多层且十字型流道与圆形流道相结合的散热流道，能够充分降低单变形镜片的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 变形 补偿 单元 立式 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州电子科技大学，未经杭州电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011458344.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
