[发明专利]一种旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置在审
| 申请号： | 202011456578.X | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112620702A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 范占军;盛之林;马晓林;盛旺;卢辉;商润龙;冯建宁 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | B23B41/00 | 分类号： | B23B41/00;B23B49/00;B23Q5/50 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 郭立宁 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，该装置包括设备立式机架、左滚珠丝杠导轨套装、右滚珠丝杠导轨套装、上中下3个托板、4套中心自动定位找正装置、掏孔磨削刀具及变频调速减速电机、冲洗冷却水系统、操作电控系统。设备立式机架由基础大底板、两根立柱和数条弧形加强筋板构成，通过螺纹连接方式固定。其中2套中心自动定位找正装置作为刀具上下夹持导向装置，分别置于上托板下部及中拖板上部，通过3个聚氨酯滚轮同时向中心移动自动使刀具沿垂直中心定位，滚轮随刀具外圆旋转，减少超长刀具旋转摆动量，稳定控制振幅。本发明加工尺寸范围广，掏孔直径Ф130‑380mm，最大掏孔深度1600mm，完全满足旋转硅靶材的各种规格尺寸需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 硅靶材 薄壁 深孔掏孔 装置 | ||
【主权项】：
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